氧化物烧结体和其制造方法、靶及透明导电膜

摘要

本发明提供能够实现适合于蓝色LED及太阳能电池的透明导电膜的高速成膜和无结节成膜的溅射用靶、用于得到它的最佳氧化物烧结体及其制造方法。该氧化物烧结体是含有铟和铈作为氧化物，而且以氧化物的形式含有一种以上金属元素(M元素)，该金属元素从由钛、锆、铪、钼及钨组成的金属元素群组中选出，并且铈的含量以Ce/(In+Ce+M)原子数比计为0.3～9原子％、M元素的含量以M/(In+Ce+M)原子数比计为1原子％以下、铈和M元素的总含量以(Ce+M)/(In+Ce+M)原子数比计为9原子％以下，该氧化物烧结体以方铁锰矿型结构的In₂O₃相为主结晶相，作为第二相的萤石型结构的CeO₂相作为平均粒径3μm以下的结晶颗粒进行细微地分散。

主权项

一种氧化物烧结体，其含有铟氧化物和铈氧化物，而且以氧化物的形式含有由钛、锆、铪、钼及钨组成的金属元素群组中选出的一种以上金属元素(M元素)，并且，铈的含量以Ce/(In＋Ce＋M)原子数比计为0.3～9原子%，M元素的含量以M/(In＋Ce＋M)原子数比计为1原子%以下，铈和M元素的总含量以(Ce＋M)/(In＋Ce＋M)原子数比计为9原子%以下，其特征在于，该氧化物烧结体以方铁锰矿型结构的In₂O₃相为主结晶相，作为第二相的萤石型结构的CeO₂相作为平均粒径3μm以下的结晶颗粒而进行细微地分散，并且不含有锡。