| 摘要 |
本发明系为一种晶圆未断侦测分区判断方法，用于判断晶圆进行劈裂后，晶圆是否断开，其包含步骤：取得劈裂前晶圆影像、建立复数判断区块、决定判断方式、劈裂、取得劈裂后晶圆影像与判断晶圆是否断开等等；据此，本发明透过分区判断的方式，可以缩小判断面积，减少光学影像辨析上困难度，以加快光学判定结果的产生速度，且本发明因应晶圆的特性，可以选择判断区块的位置与数量，其可增加劈裂前后，判断区块的光学影像差异性，而使判断更为准确，另外更可依据晶圆特性，决定判断方式，以由复数判断区块的光学判定结果，综合判断晶圆是否断开，进一步增加准确度，因而可以避免晶圆检查时发现未断而需要重新对位重劈的困扰。 |
