椭圆偏光仪及用于椭圆偏光仪之偏振态调变方法

摘要

用于椭圆偏光仪之偏振态调变方法包括：将雷射光源之光线转换成入射偏振光，该入射偏振光照射待侧物；提供声光调制器，用以即时调变该入射偏振光之偏振态；接收该待测物之反射偏振光，并将该反射偏振光转换成待测偏振光；接收该待测偏振光之光相位讯号；以及根据该待测偏振光之光相位讯号而产生调变讯号，并将该调变讯号传送至该声光调制器。本方法为快速调变入射偏振光之方法，改善知椭圆偏光仪旋转偏振片而调变入射偏振光之偏振态，本方法可将Hz等级调变速度提升至kHz等级，有效地提高入射偏振光调变速度，进而缩短整体量测时间。