溅镀靶材

摘要

本发明系一种溅镀靶材，其系包含烧结体者，该烧结体含有包含铟、锌及金属M之氧化物，且以结晶相含有In2O3、MIn2O4及In2O3(ZnO)m(1≦m≦20)，相对密度为95%以上；上述烧结体包含In之含量多于周围之组织、Zn之含量多于周围之组织及金属M之含量多于周围之组织，且包含上述In之含量较多之组织之面积成为最小的圆之平均直径、及包含上述金属M之含量较多之组织之面积成为最小的圆之平均直径为25 μm以下。