修改聚合物薄膜表面交互作用之程序和方法

摘要

本发明提供一种聚合物薄膜表面交互作用性质的修改。在此方法中，聚合物运载物件被一种化学组成物覆盖，该组成物包含光可聚合化合物、光起始剂或能够起始聚合反应的触媒以及半氟化分子。所制得的聚合物模具含有半氟化部分，其系主要位于图案化表面的表面上及接近表面区域上。该聚合物模具系适合作为在奈米压印微影术方法中作为具有修改性质的模板。

主权项

一种聚合物模具，其系在中间压印印模方法中使用图案化的模板制造，其中该聚合物模具前驱体包括：聚合物运载物件；和可固化聚合物膜，其覆盖该聚合物运载物件且具有与该聚合物运载物件相反的图案化表面，该可固化聚合物薄膜包括光可聚合单体及/或寡聚物、光起始剂，具有起始聚合反应的能力、以及半氟化分子，该半氟化分子系可溶于该光可聚合单体及/或寡聚物且系藉能够共价键结于该光可聚合单体及/或寡聚物的化学官能基完全或部分封端，并且其中该半氟化分子主要位于该可固化聚合物薄膜的图案化表面。