具背面反射镜与散热层之氮化镓发光二极体之制造方法

摘要

一种具背面反射镜与散热层之氮化镓发光二极体之制造方法，其于试片的蓝宝石基板底部蚀刻形成数内凹的孔洞，并蒸镀形成一层反射金属层于该蓝宝石基板底部与数该孔洞内壁，藉此使发光层往下发出之光线可透过该反射金属层而往上反射，而大幅增加该氮化镓发光二极体的发光亮度，并可电镀形成一铜块填满该蚀刻孔洞，藉此减少热效应产生，进一步提升发光效率。

主权项

一种具背面反射镜与散热层之氮化镓发光二极体之制造方法，其制造步骤依序如下：A.提供一试片，该试片为一基板上成长一氮化镓发光二极体(GaN LED)之试片；B.于该试片的两面各形成一层二氧化矽(SiO2)薄膜；C.使用曝光微影技术于该基板底面制作出预备蚀刻孔洞之图形，然后使用氧化物蚀刻液蚀刻，而形成数个内凹的蚀刻孔洞；D.于该氮化镓发光二极体上，对该试片进行平台独立(mesa)之制程；E.于该氮化镓发光二极体上，制作一透光导电层以及一电极；F.在该基板底面与数该蚀刻孔洞内壁镀上一层反射金属层薄膜。