基板传送装置

摘要

一种基板传送装置，适用于传输一基板。基板传送装置包含一载具及复数驱动组。载具具有一第一突出板件及一第二突出板件。载具用以承载基板。第一突出板件与第二突出板件分别位于载具的相对两侧边。复数驱动组包括一第一驱动组以及一第二驱动组。驱动组沿一输送方向排列。第一驱动组与第二驱动组分别设置于输送方向的相对两侧。第一驱动组与第二驱动组分别地接触与推动第一突出板件与第二突出板件。其中驱动组与基板不相接。藉由第一驱动组与第二驱动组分别地接触与推动第一突出板件与第二突出板件，载具与基板沿输送方向移动。

主权项

一种基板传送装置，适用于传输一基板，该基板传送装置包含：一载具，具有一第一突出板件及一第二突出板件，该载具用以承载该基板，该第一突出板件与该第二突出板件分别位于该载具的相对两侧边；复数驱动组，包括一第一驱动组以及一第二驱动组，该驱动组沿一输送方向排列，该第一驱动组与该第二驱动组分别设置于该输送方向的相对两侧，该第一驱动组与该第二驱动组分别地接触与推动该第一突出板件与该第二突出板件，其中该驱动组与该基板不相接；藉由该第一驱动组与该第二驱动组分别地接触与推动该第一突出板件与该第二突出板件，该载具与该基板沿该输送方向移动。