| 发明名称 |
研磨垫 |
| 摘要 |
本发明之目的在于提供一种平坦化特性佳、且可抑制刮痕产生之研磨垫。本发明之研磨垫特征在于包含具有椭圆气泡之研磨层，且前述椭圆气泡之长轴相对于研磨层之厚度方向倾斜5°～45°。 |
| 申请公布号 |
TWI442997 |
申请公布日期 |
2014.07.01 |
| 申请号 |
TW100109104 |
申请日期 |
2011.03.17 |
| 申请人 |
东洋橡胶工业股份有限公司 日本 |
发明人 |
数野淳 |
| 分类号 |
B24B37/24;B24D3/32;B24D3/34 |
主分类号 |
B24B37/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
| 主权项 |
一种研磨垫，系包含具有椭圆气泡之研磨层者，其特征在于：前述研磨层具有内包气体的椭圆气泡，且前述椭圆气泡之长轴相对于研磨层之厚度方向呈倾斜5°~45°。 |
| 地址 |
日本 |
