| 发明名称 |
静电夹盘 |
| 摘要 |
在一种用于夹持一玻璃基板之静电夹盘中，该静电夹盘包括嵌入于一陶瓷材料中且彼此交错之一对电极，其中该陶瓷材料之体积电阻率为1×108Ω cm至1×1014Ω cm，一覆盖该对电极之夹持表面侧上之该陶瓷材料的厚度为100 μm至200 μm，该对电极之图案宽度为0.5 mm至1 mm，及该对电极之间的最小距离为0.5 mm至1 mm。 |
| 申请公布号 |
TWI443770 |
申请公布日期 |
2014.07.01 |
| 申请号 |
TW097115258 |
申请日期 |
2008.04.25 |
| 申请人 |
新光电气工业股份有限公司 日本 |
发明人 |
白岩则雄;小林猛志;秦裕一;渡部直人 |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/67;H02N13/00 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼 |
| 主权项 |
一种静电夹盘，其系用于夹持一玻璃基板，该静电夹盘包含：彼此交错且嵌入于一陶瓷材料中的一对电极，其中，该陶瓷材料之体积电阻率为1×108Ω cm至1×1014Ω cm，一覆盖该对电极之夹持表面侧上之该陶瓷材料的厚度为100μm至200μm，该对电极之图案宽度为0.5mm至1mm，该对电极之间的最小距离为0.5mm至1mm，及该对电极之间所施加的电压为1000V或更小，且夹持力为2gf/cm2或更大。 |
| 地址 |
日本 |
