缺陷检测装置及缺陷检测方法

摘要

一种缺陷检查装置，系用以检查表面形成有图案之试样的缺陷，其特征在于，具有：载台11，用以装载试样10且可直线移动与旋转；光源1；照明光学系统，选择来自光源之任意波长域，通过偏光件7与物镜9而落射照明试样面；检测光学系统，使因该照射而来自该试样表面之反射光，通过该物镜9、及满足与偏光件之正交尼科耳条件之检光件，而获得瞳像；以及检测部，将所获得之瞳像与预先储存之瞳像相比较，以检测该试样之缺陷。能以短时间判断被检查基板上之图案形状之好坏。

主权项

一种缺陷检查装置，系用以检查表面形成有反覆图案之试样的缺陷，其特征在于，具有：载台，用以装载该试样；照明光学系统，使直线偏光之光通过物镜而落射照明于该试样的表面；检测光学系统，使因该照射而来自该试样的表面之反射光，通过该物镜、及以满足与该直线偏光之光之振动方向之正交尼科耳条件之方式配置有透过轴之检光件，以检测该物镜之瞳面的像；以及检测部，将所检测之该物镜之瞳面的像与物镜之瞳面的基准像相比较，以检测该试样之缺陷。