发明名称 |
非挥发性记忆体装置及其制造方法;NONVOLATILE MEMORY DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME |
摘要 |
一非挥发性记忆体装置包括一浮动闸极,其系形成在一基板上方;一接触插塞,其系形成在该浮动闸极之一第一侧上,并配置为平行该浮动闸极,且具有一定义于其间的间隙;及一间隔物,其系形成在该浮动闸极之一侧壁上,并填充该间隙,其中该接触插塞及该浮动闸极具有一足够大的重叠面积,以致能该接触插塞操作如用于该浮动闸极之一控制闸极。 |
申请公布号 |
TW201427030 |
申请公布日期 |
2014.07.01 |
申请号 |
TW102128077 |
申请日期 |
2013.08.06 |
申请人 |
爱思开海力士有限公司 |
发明人 |
朴圣根 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L21/8247(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
王彦评;赖碧宏 |
主权项 |
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地址 |
SK HYNIX INC. 南韩 |