发明名称 非挥发性记忆体装置及其制造方法;NONVOLATILE MEMORY DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要 一非挥发性记忆体装置包括一浮动闸极,其系形成在一基板上方;一接触插塞,其系形成在该浮动闸极之一第一侧上,并配置为平行该浮动闸极,且具有一定义于其间的间隙;及一间隔物,其系形成在该浮动闸极之一侧壁上,并填充该间隙,其中该接触插塞及该浮动闸极具有一足够大的重叠面积,以致能该接触插塞操作如用于该浮动闸极之一控制闸极。
申请公布号 TW201427030 申请公布日期 2014.07.01
申请号 TW102128077 申请日期 2013.08.06
申请人 爱思开海力士有限公司 发明人 朴圣根
分类号 H01L29/786(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L21/8247(2006.01) 主分类号 H01L29/786(2006.01)
代理机构 代理人 王彦评;赖碧宏
主权项
地址 SK HYNIX INC. 南韩