压电振动片、具有压电振动片的压电装置及压电装置的制造方法

摘要

本发明提供一种压电振动片、一种具有此压电振动片的压电装置及其制造方法，此压电振动片包含有一振动部、一外框部、一连结部及一引导电极，振动部的区域具有一第一厚度的一激励电极，外框部包围振动部并与振动部间隔一空隙，连结部连结振动部与外框部，引导电极由激励电极延伸并形成于振动部、连结部及外框部，引导电极在振动部的整体具有第一厚度，且引导电极在外框部具有比第一厚度厚的第二厚度。本发明的目的在于使激励电极及引导电极以均匀的厚度形成且能够防止不必要的振动产生，改善振动特性。

主权项

一种压电振动片，包括有：一振动部，该振动部的中央区域具有一第一厚度的一激励电极；一外框部，包围该振动部并与该振动部间隔一空隙；一连结部，连结该振动部与该外框部；以及一引导电极，由该激励电极延伸并形成于该振动部、该连结部及该外框部，其中该引导电极于该振动部具有该第一厚度，且该引导电极在该外框部具有比该第一厚度厚的一第二厚度。