光刻用防护薄膜组件的黏贴方法及装置

摘要

本发明提供一种光刻用防护薄膜组件的黏贴方法，该方法在将防护薄膜组件黏贴到曝光用原板上时，可以使通过防护薄膜框架，施加到曝光用原板上的压力均匀化，在黏贴防护薄膜组件时，能够有效地防止曝光用原板产生变形。在加压板(2)的与防护薄膜框架(6)对向的面上，以沿着防护薄膜组件的构成框架形状的防护薄膜框架(6)的边，与防护薄膜框架(6)对向的方式安装多个弹簧部件(13)，通过该多个弹簧部件(13)，由加压板(2)将防护薄膜组件的防护薄膜框架(6)朝着曝光用原板按压。

主权项

一种光刻用防护薄膜组件的黏贴方法，其特征在于：通过可塑性部件，藉由加压板将防护薄膜组件的防护薄膜框架朝着曝光用原板按压，所述可塑性部件在加压板的与所述防护薄膜框架对向的面，以沿着所述防护薄膜组件的构成框架形状的所述防护薄膜框架，与所述防护薄膜框架对向的方式被安装着，且在被施加压力后，容易变形。