含开环邻苯二甲酸酐之有机抗反射层组成物及其制备方法

摘要

一种用以形成有机抗反射层的光吸收剂，其由下式1或式2表示：;其中式1与式2中的A、R1、R2、R3以及n的代表意义如后文所述。使用本发明之光吸收剂所形成的抗反射层展现极佳的附着性与储存稳定性，以及在C/H图案与L/S图案中皆具有极佳的解析度。抗反射层组成物也具有极佳的制程容忍度，因此不论在何种基底中都可以得到极佳的图案轮廓。

主权项

一种有机抗反射层组成物，包括由下[式1]表示的光吸收剂、聚合物、热酸产生剂、交联剂以及溶剂，其中A代表具有1至20个碳原子之取代或未取代、直线或分支饱和四价烃基，具有1至20个碳原子且包含一或多个异原子之取代或未取代、直线或分支饱和烃基，具有4至20个碳原子之取代或未取代芳香族基，具有3至20个碳原子之取代或未取代异芳香族基，具有4至20个碳原子之取代或未取代脂环基，具有3至20个碳原子之取代或未取代异脂环基，具有3至20个碳原子之取代或未取代二芳醚，具有3至20个碳原子之取代或未取代二芳硫，具有3至20个碳原子之取代或未取代二芳亚碸，具有3至20个碳原子之取代或未取代二芳酮，或具有3至20个碳原子之取代或未取代二芳双酚A；以及R1以及R2分别独立代表氢原子、卤素原子、具有1至10个碳原子之取代或未取代烷基、具有6至14个碳原子之取代或未取代芳香基、取代或未取代缩醛基、或取代或未取代羟基，其中所述组成物包括以重量计为0.1至5%的所述光吸收剂、以重量计为0.1至5%的所述聚合物、以重量计为0.01至1%的所述热酸产生剂、以及以重量计为0.05至5%的所述交联剂。