环形挡板

摘要

本发明揭示一种用于蚀刻设备之档板组件。该档板组件包含一环及一下档板部分，具有在一凸缘部分和一下框架部分之间延伸的弯曲侧壁。一加热组件可存在于该下框架部分内以控制该档板的温度。该档板组件可辅助将电浆限制在该腔室的处理空间中。该环可包含碳化矽，并且该下档板部分可包含铝。

主权项

一种挡板组件，包含：一环；以及一基底部分，与该环连结，该基底部分包含：一凸缘，具有一第一直径，该凸缘连结至该环，其中该凸缘之该第一直径系界于约19寸至约20寸之间，且其中该凸缘之该第一直径系与该环之一外径对齐；一下框架部分，具有小于该第一直径的一第二直径；以及一第一侧壁，连结在该凸缘和该下框架部分之间，其中该第一侧壁从该下框架部分弯出至该凸缘；以及一加热组件，相对该环与该基底部分之一侧上的该下框架部分直接地连结，该基底部分和该加热组件系同心地堆叠。