图案描绘装置及图案描绘方法

摘要

对来自DMD之微小平面镜群之光，所导引到之感光材料上之照射区域群进行主扫描，以便在感光材料上之条带区域进行光之照射，并使主扫描重复进行，对在副扫描方向有部份重叠之多个条带区域顺序地照射光，藉以用来在感光材料上描绘图案。这时，当先行照射区域群(6a)和后续照射区域群(6b)重复通过感光材料上之重复区域(73a)时，使微小平面镜群中之与重复区域(73a)对应之一部份无效化，藉以用来在重复区域(73a)之各个位置，使先行照射区域群(6a)和后续照射区域群(6b)通过之累计时间，比在非重复区域(721、722)之各个位置，先行照射区域群(6a)或后续照射区域群(6b)通过之时间为短，用来使在重复区域(73a)之感光和非重复区域(721、722)之感光成为相同之程度。

主权项

一种图案描绘装置，系使光照射在感光材料而在上述感光材料上描绘图案者，其具备有：光照射部，用来将光照射在感光材料上；照射区域移动机构，用来使被上述光照射部照射光之照射区域群在上述感光材料上进行移动；和控制部，用来控制上述照射区域群之移动和对上述照射区域群之各个照射区域之光之照射，使多个照射区域通过上述感光材料上之各个位置，并且对上述各个位置照射光，藉此在上述感光材料上进行描绘；上述光照射部具备有空间光调变器；在上述空间光调变器中，使多个光调变元件在矩形区域内以二次元排列，对应于上述多个光调变元件之上述感光材料上之多个区域，系在互相垂直之列方向和行方向排列成矩形；上述行方向系相对于上述主扫描方向倾斜；上述多个光调变元件系姿势可以个别变更之多个微小平面镜；利用上述控制部之控制，控制从上述空间光调变器对先行照射区域群之光之照射，并且使上述先行照射区域群在上述主扫描方向平行地移动，藉此对上述感光材料上之先行条带区域进行光之照射，并控制从上述空间光调变器对后续照射区域群之光之照射，并且使上述后续照射区域群在上述主扫描方向平行地移动，藉此于副扫描方向对邻接于上述先行条带区域且有部份重叠之后续条带区域进行光之照射；在上述先行条带区域和上述后续条带区域之描绘时，与被致动之光调变元件对应之上述感光材料上之照射区域，分别为上述先行照射区域群和上述后续照射区域群；在上述先行条带区域和上述后续条带区域之非重复区域之各个位置，上述先行照射区域群或上述后续照射区域群连续地以一定时间通过；在上述先行条带区域和上述后续条带区域重叠之重复区域之各个位置，在将上述先行照射区域群和上述后续照射区域群通过之累计时间设为上述一定时间时，被致动之光调变元件之一部分在上述先行条带区域和上述后续条带区域之至少任一方之描绘时被无效化，藉此使上述累计时间较上述一定时间短。