脆性材料基板之刻划用碎屑去除装置

摘要

本发明之脆性材料基板之刻划用碎屑去除装置，其课题在于防止脆性材料基板刻划时碎屑之飞散。其解决手段为：具备：于脆性材料基板上形成刻划线之刻划轮、沿该刻划线一边贴附黏着带材一边进行移动之黏贴装置、以及将已贴附之该黏着带材从该脆性材料基板剥取并进行回收之剥离装置。