| 摘要 |
本发明系关于一种基板搬送用手臂，其包括：第一对基板支持构件，其等平行地配置；驱动部，其使上述第一对基板支持构件向相互接近之方向及相互离开之方向平行移动；第二对基板支持构件，其等于相对于上述第一对基板支持构件之长边方向正交之方向上平行地配置；平行连杆构件，其连结上述第一对基板支持构件与上述第二对基板支持构件，并且与上述第一对基板支持构件之向上述相互接近之方向之平行移动连动而使上述第二对基板支持构件向相互接近之方向平行移动，且，与上述第一对基板支持构件之向上述相互离开之方向之平行移动连动而使上述第二对基板支持构件向相互离开之方向平行移动；第1保持部，其沿着上述第一对基板支持构件之长边方向设置有复数个，且保持基板之下表面之边缘部；及第2保持部，其沿着上述第二对基板支持构件之长边方向设置有复数个，且保持基板之下表面之边缘部。 |
