具有光瞳镜（ｐｕｐｉｌ ｍｉｒｒｏｒ）之反射折射投影物镜、投影曝光装置、及投影曝光方法;CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE WITH PUPIL MIRROR, PROJECTION EXPOSURE APPARATUS AND PROJECTION EXPOSURE METHOD

摘要

提供一反射折射投影物镜，以将来自物场之图案成像于像场，此物场被设置于投影物镜之物面，而像场被设置于投影物镜之像面，此反射折射投影物镜包括第一物镜部件，供来自该物面之该图案成像为第一中间影像，且第一物镜部件具有第一光瞳面；第二物镜部件，供该第一中间影像成像为第二中间影像，且该第二物镜部件具有第二光瞳面，与第一光瞳面光学地共轭；第三物镜部件，供第二中间影像成像于像面，且第三物镜部件具有第三光瞳面，与第一光瞳面及第二光瞳面光学地共轭；光瞳镜，具有反射光瞳镜表面，位于或接近于第一光瞳面、第二光瞳面与第三光瞳面其中之一；以及，光瞳镜操作器，可操作地连接该光瞳镜，供改变光瞳镜表面之形状，如此可动态校正来自于透镜加热、压缩、或其他辐射导致之成像误差。