| 发明名称 | 量测装置以及量测方法;MEASUREMENT DEVICE AND MEASUREMENT METHOD | ||
| 摘要 | 本揭露提供一种量测装置，包括一导电探针卡、一光学接收模组、一分光模组以及一资料处理模组。导电探针卡系放置于该晶圆之至少一发光装置之上，以驱动该至少一发光装置，使该至少一发光装置发出一入射光并穿过该导电探针卡；光学接收模组，用以接收穿过该导电探针卡之该入射光；分光模组将入射光转换为光谱信号；以及资料处理模组依据光谱信号计算出一光学参数。 | ||
| 申请公布号 | TW201425886 | 申请公布日期 | 2014.07.01 |
| 申请号 | TW101148229 | 申请日期 | 2012.12.19 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 卓嘉弘;庄凯评;刘志祥;谢易辰;周森益;蔡伟雄 |
| 分类号 | G01J3/02(2006.01);G01J3/28(2006.01) | 主分类号 | G01J3/02(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 新竹县竹东镇中兴路4段195号 | ||