瑕疵检测结果整合系统及方法

摘要

一种包含一瑕疵检测装置、一定位记号读取单元及一电子装置的瑕疵检测结果整合系统。该瑕疵检测装置用以：撷取多层膜于第一、二制程阶段中的第一、二影像以产生第一、二影像讯框，并据以得到第一、二瑕疵检测结果；其中，第一、二影像涵盖载有参考点位置资讯的定位记号。该定位记号读取单元用以传送其读取到的定位记号所载的参考点位置资讯。该电子装置的一处理单元用以：根据该第一、二瑕疵检测结果及来自制造设备的脉波讯号以得到第一、二瑕疵相对位置资讯，并根据参考点位置资讯及第一、二瑕疵相对位置资讯得到瑕疵位置整合资讯。

主权项

一种瑕疵检测结果整合方法，利用包括一个处理单元、一个瑕疵检测装置、一个定位记号读取单元，及一个记忆单元的一个系统来执行，适用于整合一个多层膜于一个制造设备所进行的各制程阶段对应的瑕疵检测结果，于各制程阶段中，该制造设备持续地产生与该多层膜的位置相关的脉波讯号，该方法包含下列步骤：(A)于一个第一制程阶段中，利用该瑕疵检测装置撷取该多层膜于该第一制程阶段中的一个第一影像以产生一个第一影像讯框，其中，该第一影像涵盖已标示于该多层膜的一个定位记号，该定位记号载有一笔参考点位置资讯，该参考点位置资讯与该定位记号被标示于该多层膜的位置相关；(B)利用该瑕疵检测装置根据该第一影像讯框进行瑕疵检测，以得到对应于该第一影像的一个第一瑕疵检测结果，其中，当该第一影像中有至少一个瑕疵存在时，该第一瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于该第一影像中的发生处；(C)当该第一影像中有瑕疵存在时，利用该处理单元根据该第一瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉波讯号，以得到该瑕疵于该第一影像中的发生处，相对于该第一影像中的该定位记号的一个第一瑕疵相对位置资讯，其中，该第一瑕疵相对位置资讯系对应于该第一影像中的该定位记号所载的该参考点位置资讯；(D)利用该处理单元将该第一瑕疵相对位置资讯记录于该记忆单元；(E)于一个第二制程阶段中，当该定位记号读取单元读取到一个已标示于该多层膜的定位记号时，传送此步骤中所读取到的该定位记号所载的该参考点位置资讯；(F)利用该瑕疵检测装置撷取该多层膜于该第二制程阶段中的一个第二影像以产生一个第二影像讯框，该第二影像涵盖步骤(E)中读取到的该定位记号；(G)利用该瑕疵检测装置根据该第二影像讯框进行瑕疵检测，以得到对应于该第二影像的一个第二瑕疵检测结果，其中，当该第二影像中有至少一个瑕疵存在时，该第二瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于第二影像中的发生处；(H)当该第二影像中有瑕疵存在时，利用该处理单元根据该第二瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉波讯号，以得到该瑕疵于该第二影像中的发生处，相对于该第二影像中的该定位记号的一个第二瑕疵相对位置资讯，其中，该第二瑕疵相对位置资讯系对应于该第二影像中的该定位记号所载的该参考点位置资讯；及(I)利用该处理单元根据该参考点位置资讯、该第一瑕疵相对位置资讯，及该第二瑕疵相对位置资讯，得到一笔瑕疵位置整合资讯。