附表面电极之透明导电玻璃基板及其制造方法、以及薄膜太阳电池及其制造方法

摘要

提供一种反射率为低并为低吸收且透过率为高之附表面电极之透明导电玻璃基板，和使用有此表面电极之相较于先前技术而光电转换效率为更高之薄膜太阳电池。作成一种附表面电极之透明导电玻璃基板，其系在透光性玻璃基板上，作为第1层而以膜厚50nm~150nm来形成在波长550nm处之折射率为1.6~1.8的低折射率透明薄膜，并在该低折射率透明薄膜上，依序形成作为第2层之氧化铟系之非晶质透明导电膜和作为第3层之由氧化锌系之结晶质透明导电膜所成的凹凸膜。