电性对准标记组及其用法

摘要

兹揭示一种电性对准标记组及其使用方法。此电性对准标记组包含一顶标记与一底标记。顶标记包含位于顶晶圆之多个垫，以及与此等垫所电连接之监督介层道。底标记包含多个底垫，有的与监督介层道对应，而有的与此等垫对应。多个底垫彼此电连接，使得当顶标记与底标记彼此对准之时，监督介层道得以藉由此等底垫同时电连接多个垫。

主权项

一种电性对准标记组(electrical alignment mark set)，包含：一顶标记(top mark)，其包含一起位于一顶晶圆之一第一垫、一第二垫、一第三垫与一第四垫，与位于该顶晶圆中并与该第一垫以及该第二垫电连接之至少一监督介层道(monitoring via)；以及位于一底晶圆之一底标记(bottom mark)，其包含彼此电连接之一第一底垫与一第二底垫，其中该顶晶圆与该底晶圆一起形成一晶圆层叠，而该第一底垫对应该监督介层道，而该第二底垫对应该第三垫与该第四垫。