基板载入技术;SUBSTRATE LOADING

摘要

一种装备及方法用于将复数之基板载入一沉积反应器的一加载室中的一基板夹以于该基板夹中构成一垂直堆叠之水平定向基板，用于旋转该基板夹以构成一水平堆叠之垂直定向基板，以及用于针对沉积降低该基板夹进入该沉积反应器之一反应室。