基板定向腔室;SUBSTRATE ORIENTER CHAMBER

摘要

兹提供用以在基板处理系统中测定基板之方向的定向腔室。在一些实施例中，一种定向腔室包括包围内部体积的壳体；位于该壳体内部的可旋转台座，该可旋转台座包括基板支撑表面，该基板支撑表面适以支撑基板；位于该台座上方的光源，当基板被载至该可旋转台座上时，定位该光源以提供照明光至该基板之外周，其中来自该光源的该照明光系从垂直线倾斜一个角度朝向该基板之中心，该垂直线垂直于该基板支撑表面延伸；具有光接收表面的光接收单元，该光接收表面上设置复数个光接收元件，该复数个光接收元件接收来自该光源的该照明光；以及分析由该等光接收元件接收的该照明光之分析单元。