| 发明名称 |
铝薄膜之制造方法;MANUFACTURING METHOD OF ALUMINUM FILM |
| 摘要 |
本发明系揭露一种铝薄膜之制造方法，至少包含提供基板；对基板进行物理气相沉积步骤以直接沉积铝薄膜于基板上，且铝薄膜系含氮化铝相；以及对铝薄膜进行热处理步骤，藉此完成铝薄膜之制作。 |
| 申请公布号 |
TW201425631 |
申请公布日期 |
2014.07.01 |
| 申请号 |
TW101150392 |
申请日期 |
2012.12.27 |
| 申请人 |
远东科技大学 |
发明人 |
郑建星 |
| 分类号 |
C23C16/34(2006.01);C23C16/56(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/34(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>李国光</name><name>张仲谦</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
FAR EAST UNIVERSITY 台南市新市区中华路49号 |
