| 主权项 |
一种振动发电元件，其特征为具备：基座基板，系具备支承部、及可摇动自如地被该支承部所支承着的悬臂部；及发电部，系构成为形成在前述悬臂部且对应前述悬臂部的振动而产生交流电力；前述发电部具备：下部电极，系形成在前述基座基板的一表面侧且与前述悬臂部重叠；第1压电层，系自前述悬臂部观看形成在该下部电极的相反侧；中间电极，系自前述下部电极观看形成在该第1压电层的相反侧；第2压电层，系自前述第1压电层观看形成在该中间电极的相反侧；及上部电极，系自前述中间电极观看形成在该第2压电层的相反侧；于前述支承部之前述基座基板的表面具备下部电极用垫、中间电极用垫、及上部电极用垫，该下部电极用垫、该中间电极用垫、及该上部电极用垫系分别透过连接配线而电性连接至前述下部电极、前述中间电极及前述上部电极；于前述发电部，用以防止电性连接于前述中间电极的前述连接配线与前述下部电极之短路的第1絶缘层系以覆盖前述下部电极及前述第1压电层各自的周围部之方式形成，而用以防止电性连接于前述上部电极的前述连接配线和前述中间电极之短路的第2絶缘层系以覆盖前述中间电极及前述第2压电层各自的周围部之方式形成在前述第1絶缘层上。 |
