降低透镜于成像程序中之透镜加热效应的方法以及提升成像程序中所使用之透镜的成像性能的方法

摘要

一种降低透镜于成像程序中之透镜加热效应的方法，包含有：依据照明源与光罩设计来决定透镜上复数个热负载位置、依据该复数个热负载位置来得到透镜响应特性，以及利用该复数个热负载位置与该透镜响应特性来产生透镜加热敏感地图。

主权项

一种降低一透镜于一成像程序中之透镜加热效应的方法，包含有：依据一照明源与一光罩设计来决定该整个透镜上复数个热负载位置；依据该复数个热负载位置来得到该整个透镜的一透镜响应特性；利用该复数个热负载位置与该透镜响应特性来产生该整个透镜的一透镜加热敏感地图，其中该透镜加热敏感地图显示出正像差与负像差的资讯；以及利用该透镜加热敏感地图来置放至少一附加极点于该透镜上的一特定位置以减轻正像差与负像差来提供中性透镜响应，其中该附加极点会产生一个用来降低透镜加热效应的绕射图谱。