| 摘要 |
本发明具备使来自光罩M之第1投影光束EL2a成像以形成中间像后将来自形成中间像之中间像面P7之第2投影光束EP2b再成像于基板P上以形成投影像之投影光学系PL、与降低从第1投影光EL2a产生而投射至基板P上之泄漏光之光量的光量降低部，投影光学系PL具有将来自光罩M之第1投影光EL21a成像后投射至中间像面P7之部分光学系61、将从部分光学系61投射之第1投影光EL2a导向中间像面P7并将来自中间像面P7之第2投影光EL2b导向部分光学系61之反射光学系62，部分光学系61使来自中间像面P2之第2投影光EL2b再成像后于基板P上形成投影像。 |
