减少热畸变之Ｗｙｎｎ－Ｄｙｓｏｎ成像系统;WYNN-DYSON IMAGING SYSTEM WITH REDUCED THERMAL DISTORTION

摘要

本发明提出一种减少热畸变之Wynn-Dyson成像系统，其中一光罩与晶圆棱镜系由一玻璃材料所制成，所述玻璃材料具有不大于100ppb/℃之热膨胀系数。Wynn-Dyson成像系统包含一第一窗口，设置在晶圆与一晶圆棱镜之间以维持成像对称性。所述第一窗口实质上阻挡了热对流与热辐射使其无法抵达光罩棱镜，藉此减少形成于晶圆上之光罩影像因为热所导致的影像畸变。