振幅解调及偏振态无关之干涉式椭圆仪;HETERODYNE INTERFEROMETER BASED ON THE SUBTRACTION BETWEEN OPTICAL INTERFERENCE SIGNALS DESIGNED FOR MEASURING THE ELLIPSOMETRIC PARAMETERS OF THIN FILMS

摘要

一种振幅解调及偏振态无关之干涉式椭圆仪，其二次分光与二个偏振分光装置，藉由干涉光波讯号的相减，再将相减后的光讯号藉由四组光电感测装置转换为电子讯号，而差分相位即转换为干涉讯号振幅，因此只藉由侦测干涉讯号振幅的变化，就可以提供即时椭圆参数(Ψ,Δ)的变化。