耐电浆性构件

摘要

依照本发明的耐电浆性构件，其特征在于包含：基材；形成于前述基材的表面，包含氧化钇多晶体具有耐电浆性之层状结构物，前述层状结构物具有：第一凹凸结构；重叠形成于前述第一凹凸结构，具有比前述第一凹凸结构微细的凹凸之第二凹凸结构。可提高覆盖反应室的内壁的涂膜的密着强度或密着力，或者可减少微粒。