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经营范围
发明名称
修整器
摘要
〔课题〕提供一种修整器,无论修整器的材质的种类,皆可以简单地交换。〔技术内容〕修整器(50),是具备:被固定于修整器轴(13)的配件(30)、及藉由磁性力可装卸地被安装于配件(30)的碟片支架(50)、及可装卸地被安装于碟片支架(50)的具有整修(10a)面的修整器碟片(70)。配件(30)及碟片支架(50),是各别具有使磁性力发生的磁铁(35)、(56)。
申请公布号
TW201426835
申请公布日期
2014.07.01
申请号
TW102135065
申请日期
2013.09.27
申请人
荏原制作所股份有限公司
发明人
筱崎弘行
分类号
H01L21/304(2006.01);B24B53/017(2012.01)
主分类号
H01L21/304(2006.01)
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
EBARA CORPORATION 日本
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