发明名称 修整器
摘要 〔课题〕提供一种修整器,无论修整器的材质的种类,皆可以简单地交换。〔技术内容〕修整器(50),是具备:被固定于修整器轴(13)的配件(30)、及藉由磁性力可装卸地被安装于配件(30)的碟片支架(50)、及可装卸地被安装于碟片支架(50)的具有整修(10a)面的修整器碟片(70)。配件(30)及碟片支架(50),是各别具有使磁性力发生的磁铁(35)、(56)。
申请公布号 TW201426835 申请公布日期 2014.07.01
申请号 TW102135065 申请日期 2013.09.27
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 筱崎弘行
分类号 H01L21/304(2006.01);B24B53/017(2012.01) 主分类号 H01L21/304(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 EBARA CORPORATION 日本