薄膜电晶体;THIN FILM TRANSISTOR

摘要

一种薄膜电晶体，包括基板、设置在基板上的闸极、设置在基板上且覆盖闸极的栅绝缘层、覆盖在栅绝缘层表面的氧化铟镓锌沟道层、以及设置在沟道层表面的氧化镓锌层，该氧化镓锌层的相对两侧形成有源极和汲极。