用于测试及蚀刻基板之多功能设备及包含其之基板处理设备;MULTI-FUNCTIONAL APPARATUS FOR TESTING AND ETCHING SUBSTRATE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME

摘要

提供一种用于测试及蚀刻基板之多功能设备，其能够藉由于相同之腔室主体中执行测试及蚀刻操作而增加空间效率及制造效率及包含其之基板处理设备。多功能设备包含腔室主体，其具有基板置入其中之入口于一侧及基板自其退出之出口于另一侧；设置于腔室主体内部并用以于入口往出口之方向传输置入之基板之传输单元；设置于传输单元的上部分并用以蚀刻设置于传输单元上之基板的一部分之雷射蚀刻单元；及用以测试设置于传输单元上之基板之测试单元。