非磁性物质分散型Ｆｅ－Ｐｔ系溅镀靶

摘要

本发明系关于一种烧结体溅镀靶，其系由以分子数比计为35~55%之Pt、剩余为Fe所组成之组成合金、及分散于该合金中之非磁性物质所构成，且其特征在于：至少含SiO2作为非磁性物质，且SiO2为非晶质，并且自靶中所含之氧量去除非磁性物质之构成成分之氧而得之残留氧量为0.07重量%以下。本发明之课题在于提供一种烧结体溅镀靶，其抑制SiO2结晶化为白矽石，溅镀时产生之粒子量较少，且具有含SiO2之非磁性物质分散于Fe-Pt系之合金中而成之组织。