图案化基板之最佳清洁设备与方法

摘要

本发明提供用以清洁晶圆表面之设备与方法，特别针对图案化晶圆的清洁。该清洁设备包括一具有在面朝图案化晶圆的表面上之通道的清洁头，该图案化晶圆具有一主要图案。通道中流动的清洁材料在图案化晶圆表面上施加一剪力，该图案化晶圆定向为相对于该清洁头之一特定定位。图案化晶圆与清洁头之间的剪力及特定定位改善了表面污染物移除效率。

主权项

一种清洁头，用以分配一清洁材料，以移除一图案化晶圆之一表面上的污染物，该清洁头包含：一臂杆，用以固持该清洁头，使该清洁头近接该表面；该清洁头具有面朝该图案化晶圆之该表面的复数个通道，其中，该复数个通道之各者具有两端，该两端之其中一端分配该清洁材料，该清洁材料从该分配端流到该通道的另一端，该分配端连接到该清洁材料的一供给部，该分配出的清洁材料在该图案化晶圆上以沿着该复数个通道之各者之一轴的方向施加一剪力，以促进该图案化晶圆之该表面上之该污染物的移除，其中，该清洁材料包括一相位、二相位或三相位。