一种透明导电膜之成膜方法

摘要

本发明揭示一种透明导电膜之成膜方法，其至少包括以下步骤：提供一基板；将该基板置入一物理气相成膜装置，以进行薄膜沉积；以及形成一透明导电膜。藉由提供由一金属锌熔解氧化所得之氧化锌靶材，该方法所沉积之透明导电膜具有高穿透率与低电阻率。

主权项

一种透明导电膜之成膜方法，其步骤包含：(a)于一物理气相成膜装置中提供一基板；(b)提供一氧化物靶材，系置于该相对于基板之一方，以进行薄膜沉积；以及(c)形成一透明导电膜；其中，步骤(b)之该氧化物靶材之制程系包含下列步骤：(b-1)将一金属锌置于一石墨坩埚内进行1000℃以上的高温下熔解以转换为一锌蒸汽；(b-2)导入空气，将该锌蒸汽氧化成一氧化锌粉末，该氧化锌粉末之纯度系为99.0%至99.8%之间，该氧化锌粉末含有一碳元素分布，且该碳元素之重量含量系介于该氧化锌粉末之50ppm至500ppm之间；(b-3)于一冷却管收集该氧化锌粉末；(b-4)将该氧化锌粉末进行一成型步骤；以及(b-5)进行一烧结步骤，以形成一适用于物理气相沉积之氧化物靶材。