刀轮及使用其之脆性材料基板之划线方法及分割方法

摘要

为提供：于分割脆性材料基板时，即使脆性材料基板之板厚较薄之情形，亦能将高精度之划线稳定形成之刀轮、及使用其之脆性材料基板之划线方法。刀轮，系脆性材料基板划线用刀轮，其沿碟状轮之圆周部形成V字形之棱线部作为刀锋，在该棱线部以大致等间隔形成复数个既定形状之突起，刀轮之外径系1.0~2.5mm，该突起系在该棱线部之全周以8~35μm之间距形成，该突起之高度系0.5~6.0μm，刀锋之角度系85~140°。