发明名称 | 氧化锡膜及其制造方法;TIN OXIDE FILM AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME | ||
摘要 | 本揭露内容提供一种低雾度的氧化锡膜及其制造方法,包括将一混合溶液施加在一基板上并加热基板以形成氧化锡膜,其中混合溶液包含一锡原料(tin source)、一氧化剂(oxidizing agent)及一溶剂。 | ||
申请公布号 | TW201425233 | 申请公布日期 | 2014.07.01 |
申请号 | TW101151116 | 申请日期 | 2012.12.28 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 陈俞君;林晋庆;王恩光;江美静;陈怡真;廖泓洲 |
分类号 | C01G19/02(2006.01);C03C17/36(2006.01) | 主分类号 | C01G19/02(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 祁明辉;林素华;涂绮玲 | |
主权项 | |||
地址 | INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |