发明名称 氧化锡膜及其制造方法;TIN OXIDE FILM AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
摘要 本揭露内容提供一种低雾度的氧化锡膜及其制造方法,包括将一混合溶液施加在一基板上并加热基板以形成氧化锡膜,其中混合溶液包含一锡原料(tin source)、一氧化剂(oxidizing agent)及一溶剂。
申请公布号 TW201425233 申请公布日期 2014.07.01
申请号 TW101151116 申请日期 2012.12.28
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 陈俞君;林晋庆;王恩光;江美静;陈怡真;廖泓洲
分类号 C01G19/02(2006.01);C03C17/36(2006.01) 主分类号 C01G19/02(2006.01)
代理机构 代理人 祁明辉;林素华;涂绮玲
主权项
地址 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 新竹县竹东镇中兴路4段195号