光导波管的制造方法以及利用该方法得到的光导波管;METHOD OF MANUFACTURING OPTICAL WAVEGUIDE AND OPTICAL WAVEGUIDE OBTAINED BY USING THE METHOD

摘要

一种光导波管的制造方法，包括在基材上形成由感光性树脂组成物所构成的感光性树脂层的步骤、对所需的图案进行曝光的步骤、以及使用含有二价或二价以上的金属离子的硷性显影液来进行显影的步骤。以及一种光导波管的制造方法，包括在基材上形成由感光性树脂组成物所构成的感光性树脂层的步骤、对所需的图案进行曝光的步骤、使用硷性显影液来进行显影的步骤、以及使用含有二价或二价以上的金属离子的清洗液或酸性水溶液加以清洗的步骤。本发明可提供一种透明性及可靠性优异的光导波管的制造方法以及利用该制造方法而制造的光导波管。