发明名称 |
SUPPORT FONCTIONNEL COMPRENANT DES NANOFILS ET DES NANO-EMPREINTES ET PROCEDE DE FABRICATION DUDIT SUPPORT |
摘要 |
L'invention concerne un support fonctionnel comprenant un substrat et un ensemble de nanofils (NTi), caractérisé en ce qu'il comprend des éléments nanométriques dits nano-empreintes appartenant à l'une des configurations suivantes : - le substrat étant recouvert d'un masque à sa surface, ledit masque comporte une première série d'ouvertures dans lesquelles sont présents les nanofils (NTi), et une seconde série d'ouvertures dans lesquelles sont présentes lesdites nano-empreintes (Nej) ; - le substrat comprenant à sa surface un ensemble de nano-plots (NPn) comportant : ○ un premier sous-ensemble de nano-plots, supportant lesdits nanofils (NTi) ; ○ un second sous-ensemble de nano-plots, comportant lesdites nano-empreintes (Nej). L'invention concerne aussi un procédé de fabrication d'un support fonctionnel selon l'invention. |
申请公布号 |
FR3000294(A1) |
申请公布日期 |
2014.06.27 |
申请号 |
FR20120062537 |
申请日期 |
2012.12.21 |
申请人 |
ALEDIA;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES |
发明人 |
POURQUIER ERIC;BONO HUBERT |
分类号 |
H01L23/482;B82Y30/00;B82Y40/00;H01L21/02;H01L33/20 |
主分类号 |
H01L23/482 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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