发明名称 SUPPORT FONCTIONNEL COMPRENANT DES NANOFILS ET DES NANO-EMPREINTES ET PROCEDE DE FABRICATION DUDIT SUPPORT
摘要 L'invention concerne un support fonctionnel comprenant un substrat et un ensemble de nanofils (NTi), caractérisé en ce qu'il comprend des éléments nanométriques dits nano-empreintes appartenant à l'une des configurations suivantes : - le substrat étant recouvert d'un masque à sa surface, ledit masque comporte une première série d'ouvertures dans lesquelles sont présents les nanofils (NTi), et une seconde série d'ouvertures dans lesquelles sont présentes lesdites nano-empreintes (Nej) ; - le substrat comprenant à sa surface un ensemble de nano-plots (NPn) comportant : ○ un premier sous-ensemble de nano-plots, supportant lesdits nanofils (NTi) ; ○ un second sous-ensemble de nano-plots, comportant lesdites nano-empreintes (Nej). L'invention concerne aussi un procédé de fabrication d'un support fonctionnel selon l'invention.
申请公布号 FR3000294(A1) 申请公布日期 2014.06.27
申请号 FR20120062537 申请日期 2012.12.21
申请人 ALEDIA;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 POURQUIER ERIC;BONO HUBERT
分类号 H01L23/482;B82Y30/00;B82Y40/00;H01L21/02;H01L33/20 主分类号 H01L23/482
代理机构 代理人
主权项
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