| 摘要 |
La présente invention se rapporte à un dispositif micro-électromécanique utilisé comme capteur de force, comprenant une masse mobile, reliée par des ressorts ou éléments déformables à une ou plusieurs zones d'ancrages, et des jauges de contrainte, le dispositif possédant au moins deux éléments déformables de dimensions différentes, destinés à abaisser la position de l'axe de pivotement de la masse mobile afin d'augmenter la sensibilité en détection du capteur de force. |
