| 摘要 |
Bauteilprüfvorrichtung zum Prüfen eines Halbleiterbauelements, mit einem Stimulusgenerator (210), der ausgebildet ist, Stimulusdaten zu erzeugen, die dem Halbleiterbauelement zuzuführen sind; und einer Ergebnisbewertungseinrichtung (220), die angeschlossen ist, um Ausgangsdaten von dem Halbleiterbauelement in Reaktion auf die erzeugten Stimulusdaten, die dem Halbleiterbauelement zugeführt werden, zu empfangen, wobei die Ergebnisbewertungseinrichtung ferner ausgebildet ist, die Ausgangsdaten zu bewerten, um einen korrekten Betrieb des Halbleiterbauelements zu verifizieren, wobei die Bauteilprüfvorrichtung ferner eine Rückabbildungseinheit aufweist, die ausgebildet ist, Daten des Halbleiterbauelementausgangsdatenraums auf Stimulusdaten abzubilden und auf Grundlage der Abbildungsergebnisse einen Satz von Stimulusdaten für die weitere Prüfung zu bestimmen. |
