Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines Zustands eines in einem Prozessbehälter integrierten Messaufnehmers

摘要

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Bestimmung eines Zustands eines in einem Prozessbehälter integrierten Messaufnehmers, wobei in dem Prozessbehälter ein oder mehrere Prozesse durchgeführt werden, und der Messaufnehmer mindestens einen physikalischen oder chemischen Prozessparameter innerhalb des Prozessbehälters erfasst, umfasst die Schritte:–Identifizieren eines aktuell in dem Prozessbehälter durchgeführten Prozesses,–Ermitteln eines Abweichungswerts als Maß einer Abweichung eines während des aktuell in dem Prozessbehälter durchgeführten Prozesses von dem Messaufnehmer erfassten Messwertverlaufs von einem für den identifizierten Prozess erwarteten Messwertverlauf, wobei unter Heranziehung des ermittelten Abweichungswerts der Zustand des Messaufnehmers und/oder des Prozesses bestimmt wird.