| 摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Sensor zur berührenden Prüfung der Dicke oder von Dickenunterschieden eines Wertdokuments, das zwischen einer Abtastrolle und einem Gegenelement hindurchtransportiert wird. Erfindungsge- maß wird ein mikroelektromechanisch.es (MEMS-)Sensorelement dazu verwendet, die Auslenkung der Abtastrolle zu detektieren. Der Sensor weist hierzu eine Leiterplatte auf, auf der das MEMS-Sensorelement befestigt ist, und die mit der Abtastrolle verbunden ist, so dass die Bewegung des MEMS-Sensorelements der Bewegung der Abtastrolle entspricht. Da die mikroelekt- romechanischen Sensor komponenten im Inneren des MEMS-Sensorelements durch ein Gehäuse des MEMS-Sensorelements geschützt sind, kann deren Funktion nicht durch Verschmutzungen beeinträchtigt werden. |
