真空排气装置、真空处理装置以及真空处理方法

摘要

本发明的目的在于，提供一种能够抑制臭氧在低温泵中的存留的真空排气装置、真空处理装置以及真空排气方法。为达到上述目的，本发明的一个实施方式的真空排气装置(1)包括：真空处理用的处理室(11)泵单元，该泵单元具有冷捕集器(161)与排气通路(13A)，所述冷捕集器(161)能够捕集排出气体，所述排气通路(13A)用于将所述排出气体从所述处理室(11)导向所述冷捕集器(161)；加热单元(20)，其使从所述处理室(11)流向所述冷捕集器(161)的所述排出气体中含有的臭氧在所述排气通路(13A)中产生热分解。

主权项

一种真空排气装置，用于对真空处理用的处理室进行排气，其特征在于，包括泵单元、加热单元与阀芯，所述泵单元具有冷捕集器、泵室与排气通路，所述冷捕集器能够捕集排出气体，所述冷捕集器配置在所述泵室的内部，所述排气通路用于将所述排出气体从所述处理室导向所述冷捕集器，所述排气通路由配管形成，所述配管具有连接在所述处理室侧的第1管部件以及连接在所述泵室侧的第2管部件，加热单元使从所述处理室流向所述冷捕集器的所述排出气体中含有的臭氧在所述排气通路中产生热分解，所述加热单元具有发热面与支承所述发热面的支承体，所述发热面配置在所述第1管部件的内部且能够与所述排出气体接触，并且，所述发热面被配置在所述支承体的对着所述处理室的表面上，在所述第1管部件与所述第2管部件之间配置有阀室，所述阀芯收装在该阀室内，所述阀芯能够在使所述排气通路开放的打开位置与使所述排气通路被切断的关闭位置之间移动，所述阀芯能够调节所述排气通路的开度。