一种微镜图形扫描机构

摘要

本发明公布了一种微镜图形扫描机构，包括激光光源、分光镜、微镜装置和屏幕，其特征在于：其还包括位置敏感传感器，所述分光镜为两组，分别为第一分光镜和第二分光镜；所述第二分光镜用于将第一分光镜打过来的激光分为两束，分别打到所述屏幕和所述位置敏感传感器；所述位置敏感传感器和第二分光镜构成反馈，根据位置敏感传感器和所述屏幕上显示的扫描图形，矫正图形的畸变，测试微镜本身的属性。本发明首次将微镜的属性测试和图形扫描集成一体，方便了解微镜装置的属性及相关应用。利用PSD和分光镜构成反馈进行闭环控制可进行图形畸变的矫正，光路简单。

主权项

一种微镜图形扫描机构，包括激光光源、分光镜、微镜装置和屏幕，其特征在于：其还包括位置敏感传感器，所述分光镜为两组，分别为第一分光镜和第二分光镜；所述激光光源用于产生入射激光；所述微镜装置用于接收驱动信号发生偏转，反射入射激光至第一分光镜；所述屏幕用于显示入射激光经过微镜反射后产生的图形；所述第一分光镜用于将入射激光垂直入射到微镜装置上，将所述微镜装置反射的激光打到所述第二分光镜上；所述第二分光镜用于将第一分光镜打过来的激光分为两束，分别打到所述屏幕和位置敏感传感器；所述位置敏感传感器和第二分光镜构成反馈，根据位置敏感传感器和所述屏幕上显示的扫描图形，矫正图形的畸变，测试微镜本身的属性。