| 发明名称 | 一种掩模对准信号的归一化方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种掩模对准信号的归一化方法，其特征在于，引入一归一化系数<img file="DEST_PATH_IMAGE002.GIF" wi="26" he="26" />，以消除由于归一化标记通道的响应曲线与分支标记通道的响应特性的不一致性，实现掩模对准信号较好的归一化；所述归一化公式为：<img file="DEST_PATH_IMAGE004.GIF" wi="138" he="49" /> 式中，下标i表示第i次光强采样，下标j表示第j个分支标记，<img file="DEST_PATH_IMAGE006.GIF" wi="33" he="26" />为分支标记j的第i次光强采样数据，<img file="DEST_PATH_IMAGE008.GIF" wi="28" he="26" />为分支标记j的暗电流，<img file="DEST_PATH_IMAGE010.GIF" wi="21" he="20" />为归一化标记的暗电流，<img file="DEST_PATH_IMAGE012.GIF" wi="20" he="25" />为归一化标记的第i次光强采样数据，<img file="756762DEST_PATH_IMAGE002.GIF" wi="26" he="26" />为第j个分支标记第i次光强采样的归一化系数，<img file="DEST_PATH_IMAGE014.GIF" wi="26" he="26" />为分支标记j的经归一化后的第i次光强数据。 | ||
| 申请公布号 | CN103885283A | 申请公布日期 | 2014.06.25 |
| 申请号 | CN201210553094.6 | 申请日期 | 2012.12.19 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 李运锋 |
| 分类号 | G03F1/42(2012.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/42(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 1.一种掩模对准信号的归一化方法，其特征在于，引入一归一化系数<img file="271779DEST_PATH_IMAGE001.GIF" wi="26" he="26" />，以消除由于归一化标记通道的响应曲线与分支标记通道的响应特性的不一致性，实现掩模对准信号较好的归一化；所述归一化公式为：<img file="692396DEST_PATH_IMAGE002.GIF" wi="138" he="49" />式中，下标<i>i</i>表示第<i>i</i>次光强采样，下标<i>j</i>表示第<i>j</i>个分支标记，<img file="102649DEST_PATH_IMAGE003.GIF" wi="33" he="26" />为分支标记<i>j</i>的第<i>i</i>次光强采样数据，<img file="950519DEST_PATH_IMAGE004.GIF" wi="28" he="26" />为分支标记<i>j</i>的暗电流，<img file="875750DEST_PATH_IMAGE005.GIF" wi="21" he="20" />为归一化标记的暗电流，<img file="850790DEST_PATH_IMAGE006.GIF" wi="20" he="25" />为归一化标记的第<i>i</i>次光强采样数据，<img file="115549DEST_PATH_IMAGE001.GIF" wi="26" he="26" />为第<i>j</i>个分支标记第<i>i</i>次光强采样的归一化系数，<img file="399900DEST_PATH_IMAGE007.GIF" wi="26" he="26" />为分支标记<i>j</i>的经归一化后的第<i>i</i>次光强数据。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||