用于沉积工艺的电极及其制造方法

摘要

本发明涉及一种用于沉积工艺的电极，该电极包括：主体部，安装在该电极的下部并且连接至外部电源；和头部，整体地形成在该主体部的上部并且联接至待接受沉积的对象，其中该主体部和该头部在锻造工艺中形成在一起。本发明还涉及一种用于制造该电极的方法。根据本发明，大大降低了制造成本，并且可以提高导电性和耐热性。

主权项

一种用于气相沉积工艺的电极，包括：主体部，安装在所述电极的下部并且适于电连接至外部电源；和头部，整体地形成在所述主体部的上部并且联接至基板，其中所述主体部和所述头部通过锻造形成。